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河北台车退火炉的热源都有哪些不同的选择?

发布时间:2019/11/12 0:00:00  来源: http://hebei.xxryxly.com/news328209.html

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台车退火炉可以在很多不同的气氛条件作业,这就提供的了设备的工作范围。对于河北退火炉来说,热源的选择也是非常重要的,这会直接影响到设备的工作效率以及加工工件的质量。

河北台车退火炉的热源都有哪些不同的选择呢?就目前情况来看,使用比较频繁的热源主要有两种:一种是灯光加热,另一种是高频感应加热。  

 台车退火炉可以在很多不同的气氛条件作业,这就提供的了设备的工作范围。对于退火炉来说,热源的选择也是非常重要的,这会直接影响到设备的工作效率以及加工工件的质量。 台车退火炉的热源都有哪些不同的选择呢?就目前情况来看,使用比较频繁的热源主要有两种:一种是灯光加热,另一种是高频感应加热。   1、灯光加热 该种加热方式是一种由两个特殊灯管组或单面灯组成的加热方法。加热灯的形状和数量取决于制造商和待加工工件的尺寸。硅片位于双面加热灯的中间或单面灯的下方,用于快速加热。  因为这种装置是由线性或点光源组成的表面光源,为了实现均匀的加热效果,对每个灯管的一致性要求非常高。 理论上,灯的数量越多,传感器的数量越多,驱动电路的尺寸和控制系统的尺寸将相应地增加,从而导致制造成本的增加。然而,由于空腔体积较小,可以实现清洁的气氛,可以减少污染,并且还可以减少热预算。   2、高频感应加热 线圈缠绕在石英石腔外,平行石墨加热板放置在应时腔内。当向线圈中引入高频电压时,线圈周围会产生高频电磁场,位于高频交变电磁场中的石墨板感应后会产生热量作为热源,从而对腔体中的硅片进行热处理退火。 一般来说,虽然这种方法的制造和维护成本相对较低,但由于感应过程中石墨板的热滞后和加热停止时的热惯性,温度控制的响应速度会变慢,温度控制的精度在技术上难以保证。如果高频电磁辐射得不到适当控制,很容易对周围环境造成电磁污染。 以上是台车退火炉在使用时,热源比较常见的两种来源。

1、灯光加热
该种加热方式是一种由两个特殊灯管组或单面灯组成的加热方法。加热灯的形状和数量取决于制造商和待加工工件的尺寸。硅片位于双面加热灯的中间或单面灯的下方,用于快速加热。  因为这种装置是由线性或点光源组成的表面光源,为了实现均匀的加热效果,对每个灯管的一致性要求非常高。
理论上,灯的数量越多,传感器的数量越多,驱动电路的尺寸和控制系统的尺寸将相应地增加,从而导致制造成本的增加。然而,由于空腔体积较小,可以实现清洁的气氛,可以减少污染,并且还可以减少热预算。  
2、高频感应加热

线圈缠绕在石英石腔外,平行石墨加热板放置在应时腔内。当向线圈中引入高频电压时,线圈周围会产生高频电磁场,位于高频交变电磁场中的石墨板感应后会产生热量作为热源,从而对腔体中的硅片进行热处理退火。

台车退火炉

一般来说,虽然这种方法的制造和维护成本相对较低,但由于感应过程中石墨板的热滞后和加热停止时的热惯性,温度控制的响应速度会变慢,温度控制的精度在技术上难以保证。如果高频电磁辐射得不到适当控制,很容易对周围环境造成电磁污染。
以上是台车退火炉在使用时,热源比较常见的两种来源。

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